ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
«Установка электронно-лучевого напыления оптических покрытий с ионным ассистированием Ortus-700»
Закупаемое оборудование будет использоваться только во взаимодействии с оборудованием, уже использующимися заказчиком. В соответствии с конструкторской документацией, технической эксплуатационной документацией такое оборудование несовместимо с оборудованием, на котором используются иные товарные знаки, знаки обслуживания, патенты, полезные модели, промышленные образцы, наименования места происхождения оборудования или с оборудованием, произведенным иными производителями. В связи с этим эквиваленты оборудования не допустимы.
№
п./п
|
Наименование
|
Требований к установке в целом, функциональным подсистемам и единицам комплектации Техническая спецификация, - технические характеристики, параметры и описание;
|
|
Наименование оборудования
|
Установка электронно-лучевого напыления оптических покрытий с ионным ассистированием Ortus-700 производства ООО «Изовак», Республика Беларусь, для нанесения покрытий методом электронно-лучевого испарения с ионной очисткой и ионно-лучевым ассистированием.
|
|
Общие сведения
|
Установка серии ORTUS, модель ORTUS-700 должна состоять из вакуумного поста и одной стойки управления. Высоковакуумная откачка должна быть реализована на базе криогенного насоса и безмаслянного форвакуумного насоса, что должно гарантировать получение чистого вакуума. Установка должна оснащаеться современными электронно-лучевыми испарителями с медными водоохлаждаемыми тиглями, источником ионной очистки и ассистирования с компенсацией заряда, системами кварцевого и оптического контроля, системой нагрева подложек. Дополнительно в комплектацию должна входить автономная система рециркуляции воды с поддержанием температуры, что должно исключать необходимость в подключении оборудования к цеховой системе водоснабжения, а также повысить независимость и стабильность работы вакуумной установки.
Должен использоваться верхний привод вращения арматуры.
Контроль всех режимов работы установки, включая обращение к файлам прошлых процессов, контроль функционирования отдельных узлов и подсистем должен осуществляться с единого пульта оператора. Все показатели работы должны выводиться на жидкокристаллический монитор.
Установка Ortus-700 должна обладать следующими достоинствами и преимуществами:
Полная автоматизация.
Применение метода ионного ассистирования позволяет повысить качество покрытий, а также осуществлять безнагревное нанесение покрытий, например, на полимеры и нетермостойкие оптические кристаллы.
Ионный источник ассистирования.
Встроенные системы кварцевого и оптического контроля толщины и скорости напыления с информативным отображением результатов.
Автоматическое управление откачкой и технологическими операциями на основе промышленных компьютеров и контроллеров.
Редакторы техпроцессов и пакеты стандартных напылительных технологий в составе ПО собственной разработки компании Изовак.
Гибкая внутрикамерная компоновка технологических устройств позволяет реализовывать различные методы нанесения пленок, а также ионное ассистирование в процессе нанесения покрытий.
Высокая точность нанесения обеспечивается применением совместно оптического и кварцевого контроля.
Ortus-700 должна состоять из следующих основных модулей:
Система вакуумная.
Система электронно-лучевого испарения (ЭЛИ).
Система ионного ассистирования.
Система контроля покрытий.
Система нагрева.
Система пневматическая.
Система охлаждения.
Система газовая.
Система управления.
Система электрическая.
Система перемещения подложек.
Оснастка внутрикамерная.
ЗИП, комлпект.
Питание установки должно производиться от трехфазной электросети 380В, 50Гц. Максимальная потребляемая мощность установки не должна превышать 35 кВт; а общая масса установки не должна превышать 2000 кг.
|
1
|
Система вакуумная
|
Вакуумная система обеспечивает предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки не более 1 х10-4 Па.
Расположение высоковакуумного насоса – вертикальное. Система предусматривает наличие плавного напуска в вакуумную камеру.
Затвор вакуумный с пневматическим приводом ISO320. Соединение элементов форвакуумной линии – KF и ISO типа.
Камера вакуумная:
Материал вакуумной камеры: нержавеющая сталь.
Форма вакуумной камеры: цилиндрическая.
Камера имеет комплект внутрикамерных съемных листовых экранов для защиты от запыления.
Привод держателя подложек – на верхней плите камеры.
Дверь камеры:
открывается вручную в противоположную сторону от стойки управления;
имеет один иллюминатор;
имеет два стекла (с содержанием свинца и сталинит);
имеет заслонку от запыления и дополнительное защитное стекло.
Каркас вакуумной камеры должен быть изготовлен из стального профиля.
Каркас и вакуумная камера производства Изовак должны быть закрыты декоративными легкосъемными панелями. Панели должны быть окрашены, цвет регламентирован: серый. Панели должны иметь электрическую блокировку.
Каркас должен иметь регулируемые опоры. Колеса для перемещения не предусмотрены.
|
2
|
Система ЭЛИ
|
Два электронно-лучевых испарителя (Ferrotec):
максимальная мощность – 8 кВт
ускоряющее напряжение – 4-10 кВ
максимальный ток катода – 50 А
максимальный ток эмиссии – до 1 А
угол разворота луча – 270
размер пятна – сфокусированный 5 мм
ЭЛИ должен иметь медный водоохлаждаемый тигель на 8 позиций (по согласованию может быть заменен либо приобретен дополнительно от 1 до 12 позиций)
Вращение тиглей - дискретное и непрерывное
Электронная система сканирования луча SWEEP-контроллер по X и Y
ЭЛИ должен иметь управляемую заслонку.
Управление осуществляется как с пульта, так и от компьютера в ручном и автоматическом режиме.
Блок питания Carrera максимальной мощности 6кВт.
|
3
|
Система откачки
|
Система откачки должна обеспечивать время откачки рабочей камеры от атмосферного до рабочего давления не выше 8·10-4 Па за время не более 40 мин. Система откачки должна обеспечивать предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки не более 1·10-4 Па.
Система откачки должна включать:
1. Насос криогенный
2. Форвакуумный безмасляный насос
3. Высоковакуумный затвор Изовак между вакуумной камерой и криогенным насосом
4. Вакуумный датчик широкого диапазона измерений PKR 251 PTR 26 000 (Pfeiffer) или аналогичный, работающий при давлении от атмосферного до 10-7 атм;
5. Вакуумный датчик типа “Pirani” TPR 280 PTR 26 950 (Pfeiffer) или аналогичный для линии форвакуума;
|
4
|
Система перемещения подложек.
|
Система перемещения подложек должна включать:
Быстросъемный куполообразный держатель образцов диаметром 670 мм;
Быстросъемный планетарный держатель образцов с тремя сателлитами диаметром 278 мм каждая;
Механизм непрерывного и шагового перемещения с регулировкой скорости вращения в пределах 5 – 30 об/мин;
Должна обеспечивать неравномерность по толщине напыляемого слоя по всей поверхности куполообразного подложкодержателя не более ± 2,5 %;
Должна обеспечивать неравномерность по толщине напыляемого слоя по всей поверхности планетарного подложкодержателя не более ± 1,5 %;
|
5
|
Система нагрева подложек
|
Система нагрева подложек должна включать в себя нагревательные элементы типа ТЭН производства Изовак, и регуляторы мощности нагрева (SIPIN), обеспечивающие максимальную температуру нагрева образца не менее 350ºС. Система нагрева должна иметь возможность контроля, регулировки и поддержания температуры во время процесса напыления при помощи термопары.
Контролируемый диапазон температуры прогрева рабочего объема камеры в зоне подколпачной арматуры – 50-350 ºС
|
6
|
Система контроля толщины и скорости осаждения
|
Система контроля толщины и скорости напыления должна включать:
1. Водоохлаждаемый кварцевый датчик не менее 4 шт;
2. Контроллер SQM-160 (Inficon) или эквивалент кварцевого датчика (резонатора) совместимый с ПК;
3. Совмещенный узел перемещения кварцевых таблеток (4 шт) и свидетелей оптического контроля (8 шт).
4. Расположение совмещенного узла в центре купола.
|
7
|
Система очистки и ионного ассистирования
|
Система очистки и ионного ассистирования предназначена: для очистки поверхности подложек перед проведением процесса напыления и ионного ассистирования при нанесении покрытия, включает в себя:
1.Ионный источник СТРЕЛОК-2 (производство ООО «Изовак»)
2. Блок питания ионного источника;
3. Заслонку с пневматическим приводом;
4. Цифровой контроллер расхода газа.
|
8
|
Система оптического контроля
|
Система одноволнового оптического контроля должна обеспечивать контроль процесса напыления покрытий в режиме на пропускание и отражение на выбранной длине волны в диапазоне от 380 до1700 нм.
Система должна быть оснащена возможностью измерения спектров пропускания и отражения покрытий на свидетеле во всем диапазоне спектра.
Способ ввода излучения в монохроматор – световодный, что позводяет разместить его в произвольное место под вакуумной камерой.
Система должна обеспечивать автоматическую смену дифракционных решеток, фотодетекторов и фильтров разделения порядков во всем диапазоне спектра.
Разрешающая способность монохроматора системы оптического контроля не более 1,5 нм в диапазоне 380-1100нм и 3 нм в диапазоне 1100-1700нм
Соотношение сигнал/шум в режиме контроля на выбранной длине волны не более 0,1% во всем диапазоне спектра.
Уровень рассеяного света монохроматора не более 0,1% во всем диапазоне спектра.
Источник света для диапазона длин волн 380-1700 нм – галогеновая лампа. Частота модуляции света - 170±10 Гц.
Программное обеспечение системы оптического контроля должна позволять сохранять и загружать в рабочую область измеренные спектры пропускания и отражения покрытий, а также тренды напылений на выбранной длине волны. Спектры и тренды могут быть извлечены для последующей обработки в виде текстовых файлов с данными.
|
9
|
Система подачи газов
|
Система подачи газов должна включать в себя три цифровых регулятора расхода газа (кислород/аргон) производства Pneucleus Tech. LLC для подачи рабочего газа в вакуумную камеру (расход газа до 40 см3/мин);
|
10
|
Пневматическая система
|
Пневматическая система установки должна обеспечивать работу вакуумных шиберов и заслонок от внешнего источника сжатого воздуха и включает в себя:
Пневмоостров производства SMC для работы при давлении 6-8 Атм;
Манометр с редуктором производства SMC для регулировки давления;
|
11
|
Гидравлическая система
|
Гидравлическая система для охлаждения установки напыления и ее компонентов проточной водой должна включать в себя:
1. Два коллектора, рассчитанных на работу при давлении воды 3-6 атм, с клапанами (SMC) и с датчиками расхода жидкости (TOKYO KEISO) в линиях испарителей;
2. Теплообменник (чиллер) производства SMC или аналогичный с возможностью охлаждения хладоагента до температуры 15-18 ºС. Поток жидкости не менее 20 л/мин при давлении не менее 2 Атм;
|
12
|
Система управления, контроля и сохранения параметров технологического процесса
|
12.1
|
Общие требования
|
Система управления, контроля и сохранения параметров технологического процесса должна иметь графический интерфейс и выполнятьследующие основные функции:
- Управление профилями пользователей с раздельным доступом и ограничениями функций;
- Графическое отображение всех основных узлов установки в виде таблиц и анимированных рисунков, включая отображение параметров процесса, положения заслонок, температуры процесса; на пяти отдельных программных экранах-закладках с графическими отображениями элементов следующих систем:
Вакуумной;
Газовой;
Напыления;
Движения;
Охлаждения;
- Иметь систему блокировок и предупреждений;
- Иметь интегрированную систему для записи, редактирования и автоматического выполнения рецептов;
- Иметь систему мониторинга и графического отображения в реальном времени показаний кварцевого датчика (измерения толщины осаждаемого покрытия);
Система управления, контроля и сохранения параметров технологического процесса должна обеспечивать:
Возможность работы в ручном, полуавтоматическом и автоматическом режиме по рецептам;
Возможность сохранения и экспорта истории параметров и рецептов;
|
12.2
|
Рабочая станция оператора
|
Система управления и контроля должна включать рабочую станцию оператора с параметрами:
1. Процессор Intel Pentium Dual Core с тактовой частотой не менее 2 ГГц;
2. Оперативную память объемом не менее 512 Мбайт;
3. Жесткий диск объемом не менее 80 Гбайт;
4. Встроенную видеокарту;
5. Не менее одного порта стандарта USB;
6. Установленное лицензионное ПО типа Windows 7;
7. Монитор с диагональю не менее 23";
8. Клавиатуру с манипулятором типа “мышь”;
|
13
|
Блок распределения электропитания
|
Блок распределения электропитания разработки Изовак должен обеспечивать подключение установки к силовой сети и распределение электропитания между блоками установки. Блок распределения имеет источник бесперебойного питания для ПК; кнопку EMO защитного отключения установки. Блок распределения электропитания должен иметь механический замок для ограничения доступа к основному выключателю электропитания.
|
Стоимость должна включать:
• Поставку оборудования.
• Сборку, установку и пуско-наладку оборудования.
• Инструктаж 2-х специалистов Заказчика правилам эксплуатации и обслуживания оборудования.
• Сопровождение эксплуатации оборудования Заказчиком в течение 2-х рабочих дней после подписания акта сдачи-приемки на территории Заказчика.
Поставку, монтаж и запуск в эксплуатацию оборудования, инструктаж персонала должны провести сертифицированные производителем оборудования специалисты, имеющие соответствующее письменное подтверждение полномочий.
Поставляемое оборудование должно быть новым (т.е. оборудованием, которое не было в употреблении, не прошло ремонт, в том числе восстановление, замену составных частей, восстановление потребительских свойств) и серийного выпуска предприятия-изготовителя.
Предлагаемый график расчетов
1 этап – 40% от цены Контракта после поставки конструкторской документации (КД) Заказчику.
2 этап – 40% от цены Контракта после проведения приемо-сдаточных испытаний Оборудования на площадке Производителя, подписания Акта приемо-сдаточных испытаний, поставки Оборудования Заказчику и подписания товарных накладных по унифицированной форме ТОРГ-12 или универсального передаточного документа и акта приема-передачи.
3 этап – 20% от цены Контракта после монтажа Оборудования на площадке Заказчика, проведения пуско-наладочных работ, инструктажа персонала Заказчика и подписания Акта ввода в эксплуатацию.
Срок поставки оборудования – в течение 210 дней с даты подписания Контракта.
Место поставки оборудования – 117342, г. Москва, ул. Введенского, д. 3, корп. 1
Поставляемое оборудование новое (не бывшее в эксплуатации) и изготовлено не позднее 2016 года.
Приемка оборудования:
Приемка оборудования производится на основании программы испытаний, согласованной и утвержденной Сторонами.
Срок и объем гарантии
Срок гарантии - 18 месяцев с даты подписания Акта ввода оборудования в эксплуатацию.
Гарантия распространяется на все оборудование. Поставщик обеспечивает восстановление работоспособности оборудования в гарантийные период без дополнительных расходов со стороны Заказчика при условии соблюдения Заказчиком условий эксплуатации, установленных Производителем оборудования.
Документальное сопровождение
Оборудование должно быть обеспечено комплектом документации, включающим инструкции по эксплуатации и другую документацию, поставляемую фирмой-производителем, в том числе гарантийные обязательства, копии необходимых сертификатов, паспорта на оборудование и пр. на русском языке на электронном и бумажном носителе.
Начальник отдела 340 А.В.Лобинцов
|
